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      深圳廢氣處理之金屬有機化學廢氣處理

      文章出處:深圳市豐綠環??萍加邢薰?/span> 人氣:-發表時間:2015-12-31 00:00:00

       隨著高新技術的發展,給環境造成新的污染,例如金屬有機化學氣相淀積(MOCVD)是一類非常重要的外延生長方法,是近幾年來發展起來的生長電子科技的新工藝,對于有機廢氣處理有很大的作用。

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       金屬有機化學汽相淀積(MOCVD)是在汽相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型汽相外延生長技術。它采用Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和Ⅴ族元素的氫化物等作為晶體生長原料,以熱分解反應方式在襯底上進行汽相外延,生長各種Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄膜層單晶材料。


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       與常規的氯化物輸運外延(VPE)相比,MOCVD具有下列一系列優點:

       1.生長易于控制。

       2.可以進行大規模生產。

       3.可以生長純度很高的材料。

       4.外延層大面積均勻性良好。

       5.非常適合生長各種異質結構材料。

       6.可以生長超薄外延層,并能獲得很陡的界面過渡。

       7.使用范圍廣泛,幾乎可以生長所有化合物及合金半導體。


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       MOCVD的發展趨勢是通過改變源氣體的供給方式或基片的懸浮與轉動,來實現大面積、大批量、高均勻性和陡峭的過渡界面層的計算機控制生產,實現有機廢氣處理。

       MOCVD技術的主要缺點大部分均與其所采用的反應源有關。首先是所采用的金屬有機化合物和氫化物源價格較為昂貴,其次是由于部分源易燃易爆或者有毒,因此有一定的危險性,并且,反應后產物需要進行無害化處理,以避免造成環境污染。另外,由于所采用的源中包含其他元素(如C,H等),需要對反應過程進行仔細控制以避免引入非故意摻雜的雜質。

      深圳市豐綠環??萍脊臼且患?span style="font-size: 18px; font-family: 楷體, 楷體_GB2312, SimKai; color: rgb(192, 0, 0);">有機廢氣處理設備,廢氣燃燒設備的技術研發、設計、施工、運營管理,售后服務及建設項目環保審批發和咨詢為一體的高薪科技環保廢氣處理公司。如果您有廢氣這方面的困擾,可聯系我們專業的工程師為您解答!或致電我們的服務熱線0755—29122012.


      (本文章出自豐綠環保http://www.vagreenclean.com/轉載請注明出處)


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